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掃描電鏡液體電化學原位系統通過MEMS芯片對薄層或納米電池系統施加電信號等，結合EDS等多種不同模式，實現從納米層面實時、動態監測電極、電解液及其界面在工況下的微觀結構演化、反應動力學、相變、化學變化、表/界面處的結構和成分演化等關鍵信息。
掃描電鏡液體熱電原位系統采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內構建液氛納米實驗室，通過MEMS芯片對薄層或納米電 池系統施加熱場和電信號等，結合使用EDS等多種不同模式，實現從納米層面實時、動態監測電極、電解液及其界面在液氛 環境中隨溫度、電信號變化產生的微觀結構演化、反應動力學、相變、化學變化、表/界面處的結構和成分演化等關鍵信息。
