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掃描電鏡加熱原位系統通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制,在原位樣品臺內構建熱場自動控制及反饋測量系統,結合EDS、EBSD等多種測試模式,實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在真空環境下隨溫度變化產生的微觀結構、相變、元素價態、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。
掃描電鏡液體熱電原位系統采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內構建液氛納米實驗室,通過MEMS芯片對薄層或納米電 池系統施加熱場和電信號等,結合使用EDS等多種不同模式,實現從納米層面實時、動態監測電極、電解液及其界面在液氛 環境中隨溫度、電信號變化產生的微觀結構演化、反應動力學、相變、化學變化、表/界面處的結構和成分演化等關鍵信息。
透射電鏡雙傾探針電學原位系統通過納米探針對樣品施加電場控制,結合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式,實現從納米層面實時、動態監測樣品在真空環境下隨電場變化產生的微觀結構、相變、元素價態、微觀應力以及表/界面處的結構和成分演化等關鍵信息。
透射電鏡力電原位系統通過MEMS芯片在原位樣品臺內構建力、電復合多場自動控制及反饋測量系統,結合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式,實現從納米層面實時、動態監測樣品在真空環境下隨電場、施加力變化產生的微觀結構、相變、元素價態、微觀應力以及表/界面處的結構和成分演化等關鍵信息。